真空退火爐主要由爐體、爐膽、爐蓋及抽真空裝置和溫控系統(tǒng)組成。爐體外殼由型鋼及鋼板焊接而成，內(nèi)用硅酸鋁耐火纖維模塊、超輕質(zhì)高鋁泡沫磚砌筑成爐膛。波紋帶狀加熱元件通過(guò)高鋁瓷釘固定于爐襯棉上。爐膛內(nèi)有一耐熱板密焊而成的爐膽，被處理工件安放在爐膽內(nèi)。在爐蓋上裝有通風(fēng)機(jī)，用來(lái)強(qiáng)制氣流循環(huán)，以使?fàn)t內(nèi)溫度和氣體均勻。爐蓋與爐膽口法蘭密封連接，爐蓋上連接真空裝置。溫控系統(tǒng)采用PID可編程控制，具有超溫報(bào)警，故障自診斷等功能。

　　真空退火爐的維修注意要點(diǎn)說(shuō)明：

　　1.爐子長(zhǎng)時(shí)間不用要在120℃左右烘烤1小時(shí)，在300℃左右烘烤2小時(shí)后使用，以免造成爐膛開(kāi)裂。爐溫盡量不要超過(guò)額定溫度，以免損壞加熱元件及爐襯。禁止向爐膛內(nèi)直接灌注各種液體及溶解金屬，保持爐內(nèi)的清潔。

　　2.爐膛若采用石英管當(dāng)溫度高于1000℃時(shí)，石英管的高溫部分會(huì)出現(xiàn)不透明現(xiàn)象，這叫失透(又叫析晶性)是連熔石英管的一個(gè)固有缺陷，屬正常現(xiàn)象。

　　3.檢查溫度控制系統(tǒng)的電器連接部分的接觸是否良好，應(yīng)特別注意加熱元件的各連接點(diǎn)的連接是否緊固。

　　4.真空退火爐使用過(guò)一段時(shí)間后，若真空度降低，可分別更換不銹鋼法蘭盤(pán)之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭盤(pán)或更換修理真空系統(tǒng)，以提高系統(tǒng)的整體真空度。

　　5.爐子工作時(shí)一般在300℃左右若控制偏差還不能消除，出現(xiàn)溫度顯示值與程序給定值不符或擺動(dòng)過(guò)大，檢查參數(shù)“M5、P、t”設(shè)置是否準(zhǔn)確。